從近幾年國產(chǎn)半導體設(shè)備發(fā)展的情況來看，在國產(chǎn)設(shè)備企業(yè)在政策和資金大力支持下，國內(nèi)半導體設(shè)備廠商得以在刻蝕、薄膜沉積、測試等多個領(lǐng)域不斷取得突破——根據(jù)德邦證券的調(diào)研報告顯示，中微公司和北方華創(chuàng)分別在CCP和ICP刻蝕設(shè)備領(lǐng)域取得突破，部分產(chǎn)品已進入先進制程生產(chǎn)線驗證；北方華創(chuàng)在PVD領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)了國產(chǎn)高*薄膜制備設(shè)備零的突破，設(shè)備覆蓋了90-14nm多個制程，沈陽拓荊CVD設(shè)備成功進入長江存儲生產(chǎn)線。華峰測控模擬測試機國內(nèi)*占率已達60%，后續(xù)SOC項目推進可能為公司帶來新的增長空間。
但除了這些廣為被業(yè)界所知的半導體設(shè)備以外，可靠性測試設(shè)備也是半導體產(chǎn)業(yè)發(fā)展中的重要環(huán)節(jié)。據(jù)了解，可靠性測試設(shè)備能夠模擬環(huán)境并通過檢測確保產(chǎn)品達到在研發(fā)、設(shè)計、制造中預期的質(zhì)量目標。而這種檢測方式一方面可以保障企業(yè)產(chǎn)品品質(zhì)，同時也能夠提升企業(yè)產(chǎn)品在市場中的競爭力。
其中，半導體溫度測試系統(tǒng)也是環(huán)境可靠性測試中的重要一環(huán)，相關(guān)媒體報道稱，半導體溫度測試系統(tǒng)對于國內(nèi)提供相關(guān)設(shè)備的企業(yè)來說，有較大的業(yè)務(wù)增長點，待建廠完畢后，相應(yīng)的IC設(shè)計、晶圓制造及加工、封測等相關(guān)企業(yè)開始運轉(zhuǎn)，半導體溫度測試系統(tǒng)也將迎來新的需求增長。
具體來看，從電子工程專輯此前的報道中顯示，在晶圓測試中所涉及的溫度測試，目前主要有三種應(yīng)用：
1.根據(jù)Arrhenius的方程原理，半導體行業(yè)認識到溫度可以用來估計設(shè)備的壽命，因此，用溫度測試來確定高溫工作壽命(HTOL:High-temperature Operating Life)。
2.有特定用途的設(shè)備，如應(yīng)用于空間、戶外和汽車，需要承受更惡劣的環(huán)境和廣泛的溫度范圍。例如，所有的汽車芯片通常需要在-40℃到+150℃的范圍內(nèi)進行測試。
3.高壓芯片(例如高性能微處理器)的電子測試和大規(guī)模并行測試(DRAM和NAND芯片)是業(yè)界*的挑戰(zhàn)，需要迅速有效的冷卻以避免燒壞芯片。
